[实用新型]蒸镀加热系统及蒸镀系统

摘要

本申请涉及一种蒸镀加热系统，其包括容器、加热装置、激光液位监测装置和控制装置。所述加热装置和所述激光液位监测装置均设置于所述容器。所述激光液位监测装置用于监测液态金属液位。所述控制装置与所述加热装置和所述激光液位监测装置连接，用于接收所述激光液位监测装置监测的液位信号，并发送控制指令至所述加热装置。本申请提供的所述蒸镀加热系统提高了液面监控的准确性，从而提高了加热温度控制的准确性，进而提高了所述液态金属蒸发速率控制的准确性，提高蒸镀质量。

主权项

1.一种蒸镀加热系统(10)，其特征在于，包括：容器(100)，用于放置液态金属；加热装置(300)，设置于所述容器(100)，用于加热所述液态金属；激光液位监测装置(400)，设置于所述容器(100)，用于监测液态金属液位；控制装置(500)，所述控制装置(500)与所述加热装置(300)和所述激光液位监测装置(400)连接，用于接收所述激光液位监测装置(400)监测的液位信号，并发送控制指令至所述加热装置(300)。