[实用新型]一种用于探针退火处理的精准控温装置有效
申请号: | 201821596843.2 | 申请日: | 2018-09-29 |
公开(公告)号: | CN209383763U | 公开(公告)日: | 2019-09-13 |
发明(设计)人: | 王锐;杜江涛;万忠民;周飚;谭国甫;陈曦;黄泰明 | 申请(专利权)人: | 深圳市艺盛科五金电子有限公司 |
主分类号: | C12M1/00 | 分类号: | C12M1/00;C12M1/38;C12M1/34 |
代理公司: | 成都时誉知识产权代理事务所(普通合伙) 51250 | 代理人: | 沈成金 |
地址: | 518101 广东省珠海市宝安区新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供一种用于探针退火处理的精准控温装置,该装置包括加热腔、阵列式加热管组、控制系统和升降系统,阵列式加热管组和升降系统设置在加热腔内,并且阵列式加热管组位于升降系统正上方;阵列式加热管组由若干根长加热管和若干根短加热管组成;控制系统包括彼此相连的PLC控制器和可控硅,可控硅分别与长加热管和短加热管连接;加热腔侧壁上还设有探针放入口。本实用新型通过优化热源阵列布局,并结合基于PLC控制器与可控硅的双PID功率协调控制,让加热腔内温度变化控制在±1℃以内,整个温度场更加均匀,使得探针的良品率大大提高。 | ||
搜索关键词: | 阵列式加热 管组 探针 升降系统 加热腔 可控硅 本实用新型 短加热管 控温装置 控制系统 退火处理 加热管 温度变化控制 加热腔侧壁 功率协调 阵列布局 放入口 良品率 温度场 热源 优化 | ||
【主权项】:
1.一种用于探针退火处理的精准控温装置,其特征在于,包括加热腔、阵列式加热管组、控制系统和升降系统,所述阵列式加热管组和所述升降系统设置在所述加热腔内,并且所述阵列式加热管组位于所述升降系统正上方;所述阵列式加热管组由若干根长加热管和若干根短加热管组成;所述控制系统包括彼此相连的PLC控制器和可控硅,所述可控硅分别与所述阵列式加热管组的长加热管和短加热管连接;所述加热腔侧壁上还设有探针放入口。
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