[实用新型]离子源和等离子体处理设备

摘要

本实用新型提供一种离子源和等离子体处理设备，离子源包括反应腔，包含一环形腔体，环形腔体上设置有进气管和出气管，环形腔体内壁的径向截面为圆形，进气管内壁和出气管内壁的径向截面均为椭圆形，且三者内壁光滑过渡。环形腔体上环绕有环形磁芯，环形磁芯连接射频电源。本实用新型离子源消除了腔体内壁棱角，为等离子体提供了一光滑无棱角的环形生成回路，能最大限度保证等离子体回路顺畅，减少不必要碰撞消损和热传导，增了加等离子体效益时间；且降低了反应腔各部分的降低了热通量，减少了效能损耗。

主权项

1.一种离子源，其特征在于，包括：反应腔，包含一环形腔体，所述环形腔体上设置有进气管和出气管，所述进气管和出气管均与所述环形腔体相通；所述环形腔体内壁的径向截面为圆形，所述进气管内壁和所述出气管内壁的径向截面均为椭圆形，且所述进气管和出气管的内壁与所述环形腔体的内壁光滑过渡；环形磁芯，环绕于所述环形腔体上；射频电源，与所述环形磁芯电连接。