[实用新型]一种区熔单晶硅棒的电阻率测试台

摘要

本实用新型提供了一种区熔单晶硅棒的电阻率测试台，包括支撑底座；支撑底座的上端面设有硅棒承接座，硅棒承接座的上端面设有沿横向设置的V型通槽，V型通槽的表面安装有多个万向滚珠，万向滚珠的滚珠顶点突出于V型通槽的表面；支撑底座上安装有可在横向上及竖直方向上移动的四探针探头，四探针探头与四探针测试仪本体电连接，四探针探头位于V型通槽的上方。本实用新型所述的区熔单晶硅棒的电阻率测试台能够方便的调整放置于其上的硅棒的位置，提高了测试整根硅棒表皮的电阻率的便捷性及准确性。

主权项

1.一种区熔单晶硅棒的电阻率测试台，包括支撑底座(1)，其特征在于：所述支撑底座(1)的上端面设有硅棒承接座(2)，所述硅棒承接座(2)的上端面设有沿横向设置的V型通槽(3)，所述V型通槽(3)的表面安装有多个万向滚珠(4)，所述万向滚珠(4)的滚珠顶点突出于所述V型通槽(3)的表面；所述支撑底座(1)上安装有可在横向上及竖直方向上移动的四探针探头(5)，所述四探针探头(5)与四探针测试仪本体电连接，所述四探针探头(5)位于所述V型通槽(3)的上方。