[实用新型]一种氮化硅制品生产用反应槽

摘要

本实用新型公开了一种氮化硅制品生产用反应槽，包括壳体、壳盖、排气管、支撑台、储氮箱、气泵、进气管、控制面板、电热丝、支撑板、电机、主动轴和扇叶片，所述支撑台顶部嵌入固定有壳体，所述壳体底部连通有进气管，所述壳体顶部通过法兰连接有壳盖，所述壳盖顶部连通有进粉管和排气管，所述支撑台顶部一侧固定连接有硅粉箱，所述支撑台顶部位于硅粉箱一侧固定连接有抽风机，所述抽风机的输入端通过管道与硅粉箱相连通，所述抽风机的输出端通过管道与进粉管相连通，所述支撑台底部设有储氮箱，所述储氮箱顶部通过管道穿过支撑台与排气管相连通，该反应槽可以增加硅粉与氮气的接触面积，减少反应时间，便于氮气循环利用。

主权项

1.一种氮化硅制品生产用反应槽，包括壳体（1）、壳盖（2）、排气管（3）、支撑台（4）、储氮箱（5）、气泵（6）、进气管（7）、控制面板（8）、电热丝（15）、支撑板（16）、电机（17）、主动轴（18）和扇叶片（19），其特征在于：所述支撑台（4）顶部嵌入固定有壳体（1），所述壳体（1）底部连通有进气管（7），所述壳体（1）顶部通过法兰连接有壳盖（2），所述壳盖（2）顶部连通有进粉管（13）和排气管（3），所述支撑台（4）顶部一侧固定连接有硅粉箱（11），所述支撑台（4）顶部位于硅粉箱（11）一侧固定连接有抽风机（12），所述抽风机（12）的输入端通过管道与硅粉箱（11）相连通，所述抽风机（12）的输出端通过管道与进粉管（13）相连通，所述支撑台（4）底部设有储氮箱（5），所述储氮箱（5）顶部通过管道穿过支撑台（4）与排气管（3）相连通，所述储氮箱（5）一侧设有气泵（6），所述气泵（6）的输入端通过管道与储氮箱（5）相连通，所述气泵（6）输出端通过管道与进气管（7）相连通，所述壳体（1）内设有主动轴（18），所述主动轴（18）一端通过轴承与壳体（1）内壁转动连接，所述主动轴（18）外壁等距等角度固定连接有扇叶片（19），所述壳体（1）外壁固定连接有支撑板（16），所述支撑板（16）顶部固定连接有电机（17），所述电机（17）输出轴穿过壳体（1）通过联轴器与主动轴（18）固定连接，所述壳体（1）内部安装有电热丝（15），所述壳体（1）一侧外壁固定连接有控制面板（8）， 所述控制面板（8）分别与气泵（6）、抽风机（12）、电机（17）和电热丝（15）电性连接。