[实用新型]一种氧化喷淋装置有效
| 申请号： | 201821606075.4 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN208862006U | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 崔水炜;万肇勇;黄登强;吴章平 | 申请（专利权）人： | 苏州昊建自动化系统有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 朱静谦 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的一种氧化喷淋装置，包括：喷淋腔体，为设于电池流水线的中空腔体，所述喷淋腔体内具有臭氧输送管路，所述臭氧输送管路上具有若干臭氧出口，所述喷淋腔体朝向所述流水线具有均匀分布的喷淋孔；排风罩，对应所述喷淋腔体设置，与所述喷淋腔体共同组成封闭空间，所述排风罩设有排风口，所述排风口与排风风机接通。将氧化喷淋装置设于硅电池生产流水线上，臭氧通过臭氧输送管路充入喷淋腔体后通过喷淋孔均匀地喷淋在硅片上，从而形成均匀的二氧化硅膜，以此降低电位诱导衰减的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 喷淋腔体 喷淋装置 臭氧输送管路 排风口 排风罩 喷淋孔 流水线 本实用新型 臭氧输送管 二氧化硅膜 生产流水线 臭氧出口 电位诱导 封闭空间 排风风机 中空腔体 硅电池 喷淋腔 硅片 喷淋 衰减 臭氧 接通 电池 体内 | ||
【主权项】：
1.一种氧化喷淋装置，其特征在于，包括：喷淋腔体(1)，为设于电池流水线的中空腔体，所述喷淋腔体(1)内具有臭氧输送管路(2)，所述臭氧输送管路(2)上具有若干臭氧出口，所述喷淋腔体(1)朝向所述流水线具有均匀分布的喷淋孔(3)；排风罩(4)，对应所述喷淋腔体(1)设置，与所述喷淋腔体(1)共同组成封闭空间，所述排风罩(4)设有排风口(5)，所述排风口(5)与排风风机接通。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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