[实用新型]一种慢提拉红外干燥系统有效
| 申请号： | 201821613680.4 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN208846832U | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 卡尔·罗伯特·休斯特 | 申请（专利权）人： | 硅密（常州）电子设备有限公司 |
| 主分类号： | F26B3/30 | 分类号： | F26B3/30;F26B5/00;F26B25/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 张军 |
| 地址： | 213031 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种慢提拉红外干燥系统，包括慢提拉装置和红外干燥装置，所述慢提拉装置包括可上下活动的抬升装置，所述抬升装置包括水平的抬升支架，所述抬升支架上方设有可拆卸的承载花篮，所述红外干燥装置包括干燥箱，所述干燥箱包括箱体和可活动设于箱体顶端的箱盖，所述箱盖下表面固定有至少一根红外加热管，所述红外加热管发出的红外线波长范围为1000‑5000nm。本实用新型采用慢提拉装置和红外干燥装置相结合，显著减少了晶元承载花篮对红外线的吸收，从而有效延长了晶元承载花篮的使用寿命，在一定程度上降低了晶元的生产成本；采用气缸推动装置，使晶元在慢提拉脱水的同时实现倾斜出水，有效增强了晶元的脱水效果，进一步提升晶元干燥效率。 | ||
| 搜索关键词： | 晶元 红外干燥装置 提拉装置 提拉 红外干燥系统 本实用新型 红外加热管 花篮 抬升支架 抬升装置 承载 干燥箱 气缸推动装置 红外线波长 箱盖下表面 干燥效率 可拆卸的 上下活动 使用寿命 脱水效果 箱体顶端 可活动 红外线 出水 箱盖 脱水 生产成本 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种慢提拉红外干燥系统，其特征在于：包括慢提拉装置和红外干燥装置，所述慢提拉装置包括可上下活动的抬升装置，所述抬升装置包括水平的抬升支架，所述抬升支架上方设有可拆卸的承载花篮；所述红外干燥装置包括干燥箱，所述干燥箱包括箱体和可活动设于箱体顶端的箱盖，所述箱盖下表面固定有至少一根红外加热管，所述红外加热管发出的红外线波长范围为1000‑5000nm。
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