[实用新型]一种减振装置有效
| 申请号： | 201821616184.4 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN209026104U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 吴东;郎东春;刘赟;游力;卞骏;刘磊 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | F16F15/08 | 分类号： | F16F15/08 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的减振装置通过在所述基板和所述顶板之间设置垂直减振组件和水平减振组件来实现被减振装置的垂直方向和水平方向的振动衰减；其中，所述垂直减振组件用于实现被减振设备垂直方向的振动衰减，包括第一主动减振机构和第一被动减振机构；所述水平减振组件用于实现被减振设备的水平方向的振动衰减，包括第二主动减振机构和第二被动减振机构；所以通过在垂直方向和水平方向都设置有主动减振机构和被动减振机构和控制器，既可双向隔离高频振动，亦可双向的有效抑制低频振动。进一步的，所述控制器控制所述第一主动减振机构和第二主动减振机构进行主动减振，增强了解决实际振动问题的实用性和有效性。 | ||
| 搜索关键词： | 主动减振 减振组件 减振机构 减振装置 振动衰减 被减振设备 垂直 本实用新型 控制器控制 低频振动 高频振动 双向隔离 有效抑制 振动问题 控制器 双向的 基板 | ||
【主权项】：
1.一种减振装置，其特征在于，包括：基板、顶板、垂直减振组件、水平减振组件和控制器，所述垂直减振组件与所述顶板和所述基板连接；所述水平减振组件与所述顶板和所述基板连接；其中，所述垂直减振组件能够衰减设置在所述顶板上的被减振设备垂直方向的振动，包括第一主动减振机构和第一被动减振机构；所述水平减振组件能够衰减所述被减振设备的水平方向的振动，包括第二主动减振机构和第二被动减振机构；所述控制器设置在所述基板上；所述控制器与所述第一主动减振机构和第二主动减振机构连接，以控制所述第一主动减振机构和第二主动减振机构进行主动减振。
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