[实用新型]原子层沉积设备用气体过滤装置

摘要

本实用新型公开了一种原子层沉积设备用气体过滤装置，包括炉体，所述炉体的下端外表面固定安装有底板，且底板的下端活动安装有滚轮，所述炉体的后端外表面固定安装有进气管，且炉体的一侧外表面固定安装有进水管，所述炉体的内部靠近下端的位置固定安装有滤网，且炉体的内部靠近上端的位置固定安装有托盘，所述炉体的上端外表面固定安装有顶板。本实用新型通过设置有一系列的结构使本装置在使用过程中具备较好的过滤性，在气体处理的过程中三甲基铝的用量较少，在气体处理的过程中，过滤桶能够去除掉气体中的杂质，反应生成的杂质较少能够避免堵塞的情况，气体的过滤效果也较好，便于使用者的使用。

主权项

1.一种原子层沉积设备用气体过滤装置，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)的下端外表面固定安装有底板(2)，且底板(2)的下端活动安装有滚轮(3)，所述炉体(1)的后端外表面固定安装有进气管(4)，且炉体(1)的一侧外表面固定安装有进水管(5)，所述炉体(1)的内部靠近下端的位置固定安装有滤网(6)，且炉体(1)的内部靠近上端的位置固定安装有托盘(9)，所述炉体(1)的上端外表面固定安装有顶板(13)，且顶板(13)的上端外表面固定安装有出气管(10)，所述炉体(1)的另一侧设置有过滤桶(12)，且过滤桶(12)与炉体(1)之间设置有阀门(11)，所述炉体(1)的外表面的中间位置固定安装有固定块(7)。