[实用新型]一种用于晶圆生产离子注入的控制装置

摘要

本实用新型涉及晶圆加工设备附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆生产离子注入的控制装置，其可以通过提高筒体的盛放腔内的制备气体的控制精度；并且可以提高筒体盛放腔的制备气体的利用率；包括筒体和四组支腿，筒体的内部设置有盛放腔，盛放腔的顶端左侧连通设置有输入孔，盛放腔的顶端中部区域连通设置有输出孔；还包括左挂杆、右挂杆、支撑环、密封环、升降杆、螺纹杆、限位板和调节活塞，升降杆的中下部区域内部设置有伸缩腔；还包括横板、两组支撑架、挤压弹簧、密封塞、充气缸、恢复弹簧、左固定块、右固定块、左挡块、右挡块、动力活塞、推动杆、挑杆、固定杆、限位弹簧和转动杆，筒体的内部设置有工作腔。

主权项

1.一种用于晶圆生产离子注入的控制装置，包括筒体(1)和四组支腿(2)，所述筒体(1)的内部设置有盛放腔，所述盛放腔的顶端左侧连通设置有输入孔(3)，所述输入孔(3)中部连通设置有左控制阀(4)，所述盛放腔的顶端中部区域连通设置有输出孔(5)，所述输出孔(5)的中部连通设置有右控制阀(6)，所述筒体(1)的底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧分别与四组支腿(2)的顶端连接；其特征在于，还包括左挂杆(7)、右挂杆、支撑环(8)、密封环(9)、升降杆(10)、螺纹杆(11)、限位板(12)和调节活塞(13)，所述左挂杆(7)的顶端和右挂杆的顶端分别与筒体(1)的底端的左侧和右侧连接，所述左挂杆(7)的底部区域右侧和右挂杆的底部区域左侧分别与支撑环(8)的外圆周侧壁的左侧和右侧连接，所述盛放腔的底端连通设置有伸入孔，所述密封环(9)的外侧壁与伸入孔的内侧壁密封卡装，所述升降杆(10)的顶端自筒体(1)的下侧密封穿过密封环(9)并且伸入至盛放腔内部，所述升降杆(10)的顶端与限位板(12)的底端连接，所述限位板(12)的顶端与调节活塞(13)的底端中部区域紧贴，所述调节活塞的圆周侧壁与盛放腔的圆周侧壁密封紧贴，所述升降杆(10)的中下部区域内部设置有伸缩腔，所述伸缩腔的底端连通设置有伸缩口，所述伸缩腔的圆周侧壁设置有内螺纹，所述螺纹杆(11)的顶端自升降杆(10)的下侧螺装穿过伸缩口并且伸入至伸缩腔内部，所述螺纹杆(11)的底端与支撑环(8)转动套装，所述盛放腔的顶端右侧连通设置有测压管(37)，所述测压管的顶端连通设置有压力表(38)；还包括横板(14)、两组支撑架(15)、挤压弹簧(16)、密封塞(17)、充气缸(18)、恢复弹簧(19)、左固定块(20)、右固定块、左挡块(21)、右挡块、动力活塞(22)、推动杆(23)、挑杆(24)、固定杆(25)、限位弹簧(26)和转动杆(27)，所述盛放腔的底端左侧连通设置有进气孔，所述两组支撑架(15)的底端均与盛饭腔的底端左侧连接，所述两组支撑架(15)分别等距位于进气孔的左侧和右侧，所述横板(14)的底端的左侧和右侧分别与两组支撑架(15)的顶端连接，所述密封塞(17)的底端自盛饭腔内插入至进气孔，所述密封塞(17)的圆周侧壁中部区域与进气孔的顶端紧贴，所述挤压弹簧(16)的顶端与横板(14)的底端中部区域连接，所述挤压弹簧(16)的底端与密封塞(17)的顶端中部区域连接，所述充气缸(18)的顶端与筒体(1)的底端的左侧连接，所述筒体(1)的内部设置有工作腔，所述工作腔的顶端与进气孔连通设置有过度口，所述工作腔的左端和右端的上部区域分别连通设置有左补充口和右补充口，所述左固定块(20)的顶端和右固定块的顶端分别与工作腔的左端上侧和右端上侧铰接，所述左固定块(20)的左端和右固定块的右端分别与工作腔的左补充口内端周围区域和右补充口的外端周围区域密封紧贴，所述限位弹簧(26)的左端和右端分别与左固定块(20)的右端和右固定块的左端连接，所述左挡块(21)的左端和右挡块的右端分别与工作腔的左端上部区域和右端上部区域连接，所述工作腔的底端连通设置有伸缩孔，所述推动杆(23)的顶端自充气缸(18)的下侧穿过伸缩孔并且伸入至工作腔内部，所述推动杆(23)的底端与动力活塞(22)的底端中部区域连接，所述动力活塞(22)的圆周侧壁与工作腔的圆周侧部密封紧贴，所述恢复弹簧(19)的顶端的左侧和右侧分别与左挡块(21)和右挡块的底端紧贴，所述恢复弹簧(19)的底端与动力活塞(22)的顶端紧贴，所述挑杆(24)的右端与充气缸(18)的右端底部区域连接，所述挑杆(24)的底端左侧与固定杆(25)的顶端连接，所述转动杆(27)的中部区域与固定杆(25)铰接，所述转动杆(27)的前端右部区域贯穿设置有滑轨，所述推动杆(23)的底端设置有滑头，所述滑头与滑轨滑动卡装。