[实用新型]一种高精度稀释配气仪有效

专利信息
申请号: 201821633589.9 申请日: 2018-10-09
公开(公告)号: CN208943860U 公开(公告)日: 2019-06-07
发明(设计)人: 刘乙;顾潮春;赵玲宝;杨森;翁萌萌 申请(专利权)人: 江苏春潮科技发展有限公司
主分类号: B01F3/02 分类号: B01F3/02;B01F15/04
代理公司: 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 代理人: 汤志武
地址: 224000 江苏省盐城市盐都*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一高精度稀释配气仪,包括气体流路和液体流路,其特征在于所述气体流路和液体流路与高温汽化混合装置连接;气体流路包括稀释气口、配比气口和与其相对应的两个气体质量流量控制器MFC,稀释气与配比气分别通过两个气体质量流量控制器MFC经汇流后,通过标准气口进入高温汽化混合装置;液体流路包含液体入口、蠕动泵和与其对应的液体质量流量计MFM,蠕动泵抽取液体经液体质量流量计MFM后进入高温汽化混合装置。本实用新型可以实现配比气的高精度及加湿气化混合的均匀性,保证配气仪的标定精度。
搜索关键词: 高温汽化 混合装置 气体流路 液体流路 配比 气口 稀释 气体质量流量控制器 液体质量流量计 本实用新型 配气仪 蠕动泵 抽取液体 液体入口 汇流 加湿气 均匀性 稀释气 标定 保证
【主权项】:
1.一种高精度稀释配气仪,包括气体流路和液体流路,其特征在于所述气体流路和液体流路与高温汽化混合装置连接;所述气体流路包括稀释气口、配比气口和与其相对应的两个气体质量流量控制器MFC,稀释气与配比气分别通过两个气体质量流量控制器MFC经汇流后,通过标准气口进入高温汽化混合装置;所述液体流路包含液体入口、蠕动泵和与其对应的液体质量流量计MFM,蠕动泵抽取液体经液体质量流量计MFM后进入高温汽化混合装置;所述高温汽化混合装置包括耐高温壳体,耐高温壳体内有混合腔,混合腔设有出口,混合腔的上部设有PEEK喷头,液体由喷头上端进入,高压气体由喷头侧面进入,高压气体与液体碰撞产生雾化,再经喷头进入高温混合腔进行充分混合。
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