[实用新型]双视场干涉仪有效
申请号: | 201821636041.X | 申请日: | 2018-10-09 |
公开(公告)号: | CN208720999U | 公开(公告)日: | 2019-04-09 |
发明(设计)人: | 祝沛 | 申请(专利权)人: | 上海乾曜光学科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00;G01B9/02 |
代理公司: | 上海助之鑫知识产权代理有限公司 31328 | 代理人: | 王风平 |
地址: | 201806 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提出一种双视场干涉仪,包括:激光点光源;分光棱镜,所述分光棱镜设在所述激光点光源的下面;分光镜,所述分光镜设在所述分光棱镜的下面;准直镜,所述准直镜设在所述分光镜的右面;反射标准镜,所述反射标准镜设在所述准直镜的右面;测试相机,所述测试相机设在所述分光棱镜的左面;辅助对准相机,所述辅助对准相机设在所述分光镜的左面。根据本实用新型的双视场干涉仪,可以在大视场辅助对准模式下保证零场调节的精度,同时可以在小视场高分辨率测试模式下,保证超大的测试量程和精度。 | ||
搜索关键词: | 分光棱镜 分光镜 干涉仪 双视场 准直镜 相机 右面 对准 本实用新型 标准镜 激光点 左面 反射 光源 测试 测试量程 测试模式 高分辨率 场调节 大视场 小视场 保证 | ||
【主权项】:
1.一种双视场干涉仪,其特征在于,包括:激光点光源;分光棱镜,所述分光棱镜设在所述激光点光源的下面;分光镜,所述分光镜设在所述分光棱镜的下面;准直镜,所述准直镜设在所述分光镜的右面;反射标准镜,所述反射标准镜设在所述准直镜的右面;测试相机,所述测试相机设在所述分光棱镜的左面;辅助对准相机,所述辅助对准相机设在所述分光镜的左面。
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