[实用新型]一种分架式晶圆清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种分架式晶圆清洗装置，包括溶液箱，溶液箱的底部安装有第一支脚和第二支脚，溶液箱的顶部安装有盖板，盖板的内部安装有第二活动轴，第二活动轴的一侧安装有第二滚筒，第二滚筒的表面安装有第二毛刷，溶液箱的内部安装有第一活动轴，第一活动轴的一侧安装有第一滚筒，第一滚筒的外部安装有第一毛刷，第一支脚的一侧安装有第二限位块，第二支脚的一侧安装有第一限位块，第一限位块和第二限位块的中间位置设置有过滤斗，过滤斗的底部设置有滤网，滤网的底部安装有回收桶。本实用新型通过设置输入管、压力泵、输出管、过滤斗、滤网、第一活动轴和第一毛刷解决了现有晶圆清洗装置清洗不够全面高效和无法循环使用耗费成本的问题。

主权项

1.一种分架式晶圆清洗装置，包括溶液箱(1)，其特征在于：所述溶液箱(1)的底部安装有第一支脚(2)和第二支脚(3)，所述溶液箱(1)的顶部安装有盖板(4)，所述盖板(4)的内部安装有第二活动轴(19)，且第二活动轴(19)的一侧安装有第二滚筒(20)，所述第二滚筒(20)的表面套接有第二毛刷(21)，所述溶液箱(1)的内部安装有第一活动轴(16)，且第一活动轴(16)的一侧安装有第一滚筒(17)，所述第一滚筒(17)的外部套接有第一毛刷(18)，所述第一支脚(2)的一侧安装有第二限位块(11)，所述第二支脚(3)的一侧安装有第一限位块(10)，所述第一限位块(10)和第二限位块(11)的中间位置设置有过滤斗(12)，且过滤斗(12)的底部设置有滤网(13)，所述滤网(13)的底部安装有回收桶(14)，且回收桶(14)的一侧安装有压力泵(8)。