[实用新型]掩膜板、电容器阵列和半导体器件

摘要

本实用新型提供了一种掩膜板、电容器阵列和半导体器件，能够通过一次曝光工艺制作出电容孔阵列以及围绕在电容孔阵列周围且具有波浪形侧壁的环形沟槽，所述环形沟槽的操作窗口较大，能够避免刻蚀不到位的情况，从而能够防止电容器阵列边界形成多余且较小的电容开口，进而提高最终制得的器件的可靠性。

主权项

1.一种掩膜板，其特征在于，用于制作电容器阵列，所述掩膜板具有第一网格图案和环绕在所述第一网格图案周围的第一环形图案，所述第一网格图案由沿第一方向延伸的第一线条和沿第二方向延伸的第二线条交织而成，所述第一网格图案中的每个第一网格定义一个电容器的位置，所述第一环形图案包括紧挨并围绕在所述第一网格图案周围的环形沟道以及围绕在所述环形沟道远离所述第一网格图案一侧的外围图案，所述外围图案用于遮蔽所述环形沟道外围的区域。