[实用新型]大角度翻转晶圆浸泡装置

摘要

本实用新型涉及一种大角度翻转晶圆浸泡装置，储液槽及电动执行器分别安装在底板上，片盒位于储液槽内，储液槽内的下部盛有浸泡晶片的化学液，上部的槽壁上开有供机械手将晶片送入片盒中的传片窗口；升降连杆的一端通过升降架与电动执行器的输出端相连，另一端插入储液槽内、与片盒铰接；倾斜气缸安装在升降架上，倾斜连杆内嵌于升降连杆中，一端与倾斜气缸的输出端相连，另一端通过中间连杆组件与片盒铰接。本实用新型通过机械手将晶圆放入储液槽内的片盒中，可同时浸泡多片晶圆；倾斜连杆内嵌于升降连杆中，运动平稳，片盒可实现大角度翻转，实现了在湿法处理过程中对晶圆浸泡更高效及更安全的要求。

主权项

1.一种大角度翻转晶圆浸泡装置，包括片盒、储液槽、底板、电动执行器、倾斜连杆、倾斜气缸、升降连杆及传片窗口，该储液槽及电动执行器分别安装在底板上，片盒位于储液槽内，所述储液槽内的下部盛有浸泡晶片的化学液，上部的槽壁上开有供机械手将晶片送入片盒中的传片窗口；其特征在于：所述升降连杆(11)的一端通过升降架(19)与电动执行器(6)的输出端相连，另一端插入所述储液槽(3)内、与所述片盒(2)铰接；所述倾斜气缸(10)安装在升降架(19)上，所述倾斜连杆(9)内嵌于升降连杆(11)中，一端与该倾斜气缸(10)的输出端相连，另一端通过中间连杆组件与所述片盒(2)铰接；所述电动执行器(6)通过升降架(19)带动升降连杆(11)、倾斜气缸(10)及倾斜连杆(9)同步升降，进而带动所述片盒(2)上升到与所述传片窗口(12)相对应的高度取/放晶圆(1)，或使片盒(2)下降浸入到化学液以下浸泡晶圆(1)，所述倾斜气缸(10)通过倾斜连杆(9)、中间连杆组件带动片盒(2)翻转。