[实用新型]蒸镀装置有效
| 申请号： | 201821649501.2 | 申请日： | 2018-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN209113980U | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 鲁玉泉 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 赵永辉 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种蒸镀装置。所述蒸镀装置包括坩埚和覆盖所述坩埚的保护层。所述坩埚具有内侧面、外侧面以及沿所述坩埚厚度方向内侧面与外侧面交界处的壁面。所述保护层包括第一保护层、第二保护层和第三保护层。所述第一保护层覆盖所述内侧面，所述第一保护层的厚度为1μm‑150μm，用于防止蒸发物腐蚀所述内侧面。所述第二保护层覆盖所述外侧面，用于防止蒸发物料溢出后腐蚀所述外侧面。所述第三保护层覆盖所述壁面，用于防止蒸发物料溢出后腐蚀所述壁面。所述坩埚整体覆盖所述保护层能很好地保护所述坩埚，避免被腐蚀性物料腐蚀损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 保护层 坩埚 外侧面 第一保护层 蒸镀装置 腐蚀 覆盖 侧面 第二保护层 蒸发物料 所述壁 溢出 腐蚀性物料 坩埚整体 交界处 蒸发物 壁面 申请 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置(100)，其特征在于，包括：坩埚(10)，包围形成具有开口的容纳腔(11)，所述坩埚(10)具有内侧面(12)、外侧面(13)以及沿所述坩埚(10)厚度方向内侧面(12)与外侧面(13)交界处的壁面(14)；第一保护层(21)覆盖所述内侧面(12)，所述第一保护层(21)的厚度为0.6μm‑150μm，用于防止蒸发物料腐蚀所述内侧面(12)；第二保护层(22)，覆盖所述外侧面(13)；以及第三保护层(23)，覆盖所述壁面(14)。
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