[实用新型]可分离式真空互联系统有效
| 申请号： | 201821651673.3 | 申请日： | 2018-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN209144257U | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 张汇;汪逸凡;施至刚 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/44;C30B25/08;F04B41/06 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可分离式真空互联系统，包括：主互联管道；主互联固定装置，设置于主互联管道上；多个可移动的分体装置，包含：移动式高真空生长设备、移动式非高真空生长设备、移动式真空测量设备、真空恒温样品传递小车、以及移动式真空泵车系统，其中，分体装置在主互联管道上可连接并拆卸，可与主互联固定装置之间进行组合连接和分离，同时多个分体装置可单独使用或两两任意组合连接构成一体化腔体使用；以及一体化的恒温台，用于样品原位、恒温传递。该互联系统使用灵活方便，且各个分体装置的占地面积小，对室内空间和承重的需求较小，同时分离式的设计充分利用各种泵体资源，极大程度降低真空互联装置的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 分体装置 移动式 互联管道 互联系统 固定装置 可分离式 生长设备 高真空 互联 本实用新型 一体化腔体 单独使用 互联装置 室内空间 样品传递 样品原位 真空测量 真空恒温 组合连接 承重 可连接 可移动 真空泵 泵体 拆卸 小车 一体化 传递 灵活 | ||
【主权项】：
1.一种可分离式真空互联系统，包括：主互联管道；主互联固定装置，设置于主互联管道上；多个可移动的分体装置，所述分体装置包含：移动式高真空生长设备、移动式非高真空生长设备、移动式真空测量设备、真空恒温样品传递小车、以及移动式真空泵车系统，其中，所述分体装置在主互联管道上可连接并拆卸，可与主互联固定装置之间进行组合连接和分离，同时多个分体装置可单独使用或两两任意组合连接构成一体化腔体使用；以及一体化的恒温台，用于在多个互联的分体装置之间或分体装置与主互联固定装置之间的样品原位、恒温传递。
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