[实用新型]一种改良型多片花篮有效
申请号: | 201821656842.2 | 申请日: | 2018-10-12 |
公开(公告)号: | CN208923060U | 公开(公告)日: | 2019-05-31 |
发明(设计)人: | 郭光辉 | 申请(专利权)人: | 济南晶硕电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 济南瑞宸知识产权代理有限公司 37268 | 代理人: | 徐健 |
地址: | 250217 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种改良型多片花篮,包括花篮本体;所述的花篮本体为花篮架,花篮架内设有花篮齿杆,花篮齿杆分为上层齿杆和下层齿杆,上层齿杆和下层齿杆之间设有硅片固定空间,花篮架中部设有两个抓握把手,花篮架两侧设有限位把手,所述的限位把手为两个,分别设置在花篮架左右的外边缘。通过在现有的花篮两边,增加一个合理尺寸的短把手。在使用中,将把手旋转在硅片的外沿,阻挡了在正常作业中,硅片可能出现的各种位移;不使用时,可以将把手旋转至合理位置。既能够解决了实际的生产问题,又节省空间和资源。 | ||
搜索关键词: | 花篮架 齿杆 把手 硅片 花篮 花篮本体 改良型 花篮齿 多片 下层 上层 本实用新型 固定空间 合理位置 节省空间 生产问题 限位把手 正常作业 短把手 外边缘 外沿 抓握 两边 阻挡 | ||
【主权项】:
1.一种改良型多片花篮,包括花篮本体;其特征在于:所述的花篮本体为花篮架,花篮架内设有花篮齿杆,花篮齿杆分为上层齿杆和下层齿杆,上层齿杆和下层齿杆之间设有硅片固定空间,花篮架中部设有两个抓握把手,花篮架两侧设有限位把手,所述的限位把手为两个,分别设置在花篮架左右的外边缘。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造