[实用新型]一种镀膜设备的真空阀门

摘要

本实用新型适用于镀膜机配件领域，提供了一种镀膜设备的真空阀门，包括阀体、阀芯和直线步进电机，阀体包括第一通道和垂直于第一通道设置的第二通道，第一通道与第二通道连通，第一通道末端固定连接直线步进电机，直线步进电机输出端固定连接阀芯，直线步进电机的输出端驱动阀芯在第一通道左右移动，实现阀体的闭合，直线步进电机的输出长度大于第一通末端至第二通道，第一通道首端设置有凹槽，凹槽内设置有防溅板，通过设置防溅板，防止镀膜机的真空系统内工作时溅射出来的靶材将阀门堵塞，防止溅射进靶材到阀门内影响润滑效果，提高阀门的使用寿命，确保阀门长期使用下灵活性和密封度，且本实用新型结构简单，整体刚度高，故障率低且造价低。

主权项

1.一种镀膜设备的真空阀门，其特征在于，包括阀体、阀芯和直线步进电机，所述阀体包括第一通道和垂直于第一通道设置的第二通道，所述第一通道与第二通道连通，所述第一通道末端固定连接所述直线步进电机，所述直线步进电机输出端固定连接所述阀芯，所述直线步进电机的输出端驱动阀芯在所述第一通道左右移动，实现阀体的闭合，所述直线步进电机的输出长度大于所述第一通末端至所述第二通道，所述第一通道首端设置有圆形的凹槽，所述凹槽内设置有防溅板，所述防溅板沿第一通道径向设置，所述防溅板设置有设置有两组，所述两组防溅板之间交错设置。