[实用新型]一种太阳能刻蚀机台改造结构有效

专利信息
申请号: 201821666147.4 申请日: 2018-10-15
公开(公告)号: CN208738195U 公开(公告)日: 2019-04-12
发明(设计)人: 吴建栋;周伟旭 申请(专利权)人: 福建汉晶光电科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/306
代理公司: 广州京诺知识产权代理有限公司 44407 代理人: 沈威
地址: 363300 福建省*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 实用新型公开了一种太阳能刻蚀机台改造结构,包括刻蚀机台本体、进料口、出料口、抽气泵、抽气管、固定环、第一出气管、水箱、观察玻璃板、阀门、第一连接管、盘管、封口帽、PH检测仪、第二连接管、支撑架、环型空腔、进气孔、通孔、第二出气管和三通管。本实用新型结构合理,通过抽气处理装置的设置,可有效的对刻蚀机台本体两侧的进料口和出料口进行抽气,避免刻蚀机台本体内部的有害气体散发到外界,可对工作人员进行保护,避免损坏工作人员的身体;通过抽气处理装置处理后的气体可在第二出气管中产生气流,通过第二出气管末端可为刻蚀机台本体内部的吹干区域提供吹风,可对气流进行利用。
搜索关键词: 刻蚀机台 出气管 本实用新型 抽气处理 出料口 进料口 连接管 太阳能 玻璃板 环型空腔 气体散发 区域提供 装置处理 抽气泵 抽气管 封口帽 固定环 进气孔 三通管 支撑架 水箱 抽气 吹干 阀门 盘管 通孔 吹风 改造 观察
【主权项】:
1.一种太阳能刻蚀机台改造结构,其特征在于:包括刻蚀机台本体(1)以及抽气处理装置,所述刻蚀机台本体(1)两侧分别设置进料口(2)和出料口(3);所述抽气处理装置包括两个抽气泵(4)以及嵌合安装在刻蚀机台本体(1)底部的水箱(8),两个所述抽气泵(4)分别固定安装在进料口(2)顶部和出料口(3)顶部,且两个抽气泵(4)的抽气口均连通抽气管(5),两个所述抽气泵(4)的出气口分别连通第一出气管(7)和第二出气管(20),所述进料口(2)内壁和出料口(3)内壁均固定安装有固定环(6),所述固定环(6)的侧壁内部开有环型空腔(17),且固定环(6)的内壁均匀开有若干个与环型空腔(17)连通的进气孔(18),所述抽气管(5)的末端与环型空腔(17)连通,所述第一出气管(7)末端和第二出气管(20)末端通过三通管(21)与第一连接管(11)一端连通,所述第一连接管(11)末端连通位于水箱(8)内部的盘管(12),且盘管(12)的末端固定安装有封口帽(13),所述盘管(12)外表面均匀开有若干个通孔(19),所述水箱(8)顶部固定连通第二连接管(15),且第二连接管(15)的末端与刻蚀机台本体(1)顶部固接,所述水箱(8)的一侧固定安装有PH检测仪(14)。
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