[实用新型]一种太阳能刻蚀机台改造结构有效
申请号: | 201821666147.4 | 申请日: | 2018-10-15 |
公开(公告)号: | CN208738195U | 公开(公告)日: | 2019-04-12 |
发明(设计)人: | 吴建栋;周伟旭 | 申请(专利权)人: | 福建汉晶光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/306 |
代理公司: | 广州京诺知识产权代理有限公司 44407 | 代理人: | 沈威 |
地址: | 363300 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种太阳能刻蚀机台改造结构,包括刻蚀机台本体、进料口、出料口、抽气泵、抽气管、固定环、第一出气管、水箱、观察玻璃板、阀门、第一连接管、盘管、封口帽、PH检测仪、第二连接管、支撑架、环型空腔、进气孔、通孔、第二出气管和三通管。本实用新型结构合理,通过抽气处理装置的设置,可有效的对刻蚀机台本体两侧的进料口和出料口进行抽气,避免刻蚀机台本体内部的有害气体散发到外界,可对工作人员进行保护,避免损坏工作人员的身体;通过抽气处理装置处理后的气体可在第二出气管中产生气流,通过第二出气管末端可为刻蚀机台本体内部的吹干区域提供吹风,可对气流进行利用。 | ||
搜索关键词: | 刻蚀机台 出气管 本实用新型 抽气处理 出料口 进料口 连接管 太阳能 玻璃板 环型空腔 气体散发 区域提供 装置处理 抽气泵 抽气管 封口帽 固定环 进气孔 三通管 支撑架 水箱 抽气 吹干 阀门 盘管 通孔 吹风 改造 观察 | ||
【主权项】:
1.一种太阳能刻蚀机台改造结构,其特征在于:包括刻蚀机台本体(1)以及抽气处理装置,所述刻蚀机台本体(1)两侧分别设置进料口(2)和出料口(3);所述抽气处理装置包括两个抽气泵(4)以及嵌合安装在刻蚀机台本体(1)底部的水箱(8),两个所述抽气泵(4)分别固定安装在进料口(2)顶部和出料口(3)顶部,且两个抽气泵(4)的抽气口均连通抽气管(5),两个所述抽气泵(4)的出气口分别连通第一出气管(7)和第二出气管(20),所述进料口(2)内壁和出料口(3)内壁均固定安装有固定环(6),所述固定环(6)的侧壁内部开有环型空腔(17),且固定环(6)的内壁均匀开有若干个与环型空腔(17)连通的进气孔(18),所述抽气管(5)的末端与环型空腔(17)连通,所述第一出气管(7)末端和第二出气管(20)末端通过三通管(21)与第一连接管(11)一端连通,所述第一连接管(11)末端连通位于水箱(8)内部的盘管(12),且盘管(12)的末端固定安装有封口帽(13),所述盘管(12)外表面均匀开有若干个通孔(19),所述水箱(8)顶部固定连通第二连接管(15),且第二连接管(15)的末端与刻蚀机台本体(1)顶部固接,所述水箱(8)的一侧固定安装有PH检测仪(14)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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