[实用新型]一种四工位转靶有效
| 申请号： | 201821681616.X | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN208965025U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 王军岭 | 申请（专利权）人： | 南京欧德工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 211103 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种四工位转靶，涉及真空磁控溅射技术，其包括与镀膜机固定的固定板，所述固定板上转动连接有靶轴，所述靶轴端部固定有靶材筒，所述靶材筒外罩设有冷却罩，所述冷却罩上设有与靶材筒外周面配合的开口，所述冷却罩转动设置在靶轴上，所述固定板上设有驱动靶材筒转动的驱动装置。在工作时，通过驱动装置驱动冷却罩转动，即可实现冷却罩上开口位置的调节，在镀膜之前，可以将开口调整到对准工件的位置，这样可以保证靶材上的分子、原子以及电子飞出之后，可以准确的朝向工件飞去，提高了镀膜效率以及镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却罩 靶材 固定板 驱动装置 四工位 镀膜 转动 开口 真空磁控溅射 本实用新型 驱动 镀膜效率 筒外周面 转动连接 转动设置 镀膜机 固定的 上开口 轴端部 外罩 对准 配合 保证 | ||
【主权项】：
1.一种四工位转靶，包括与镀膜机固定的固定板(1)，所述固定板(1)上转动连接有靶轴(2)，所述靶轴(2)端部固定有靶材筒(5)，其特征在于：所述靶材筒(5)外罩设有冷却罩(3)，所述冷却罩(3)上设有与靶材筒(5)外周面配合的开口(31)，所述冷却罩(3)转动设置在靶轴(2)上，所述固定板(1)上设有驱动冷却罩 (3)转动的驱动装置。
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