[实用新型]电子束熔炼后硅锭的拆卸装置有效

专利信息
申请号: 201821682490.8 申请日: 2018-10-17
公开(公告)号: CN209383397U 公开(公告)日: 2019-09-13
发明(设计)人: 张思源;郭校亮;张磊;侯雨新;孙雨萱 申请(专利权)人: 青岛蓝光晶科新材料有限公司
主分类号: C01B33/037 分类号: C01B33/037;C30B28/04;C30B29/06
代理公司: 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 代理人: 巩同海
地址: 266237 山东省青岛市即墨市青岛蓝色*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型涉及一种电子束熔炼后硅锭的拆卸装置,属于硅材料提纯技术领域。其包括支撑件、坩埚基座、底座和固定件,支撑件包括支撑件主体和支撑件支腿,支撑件支腿上设有吊孔;坩埚基座包括旋转臂和坩埚基座主体,坩埚基座主体设有放置坩埚的空间,旋转臂对称固定于坩埚基座主体的两侧,坩埚基座主体的底部固定有挂件;底座两侧的顶部开设有槽体,所述旋转臂放置于槽体中,坩埚基座可以旋转臂为轴,在底座上自由旋转;坩埚由固定件可拆卸地固定于坩埚基座上,支撑件放置于坩埚上表面,支撑件由固定件可拆卸地固定于坩埚基座上。本实用新型的装置增加了坩埚的使用寿命,可实现硅锭拆卸和硅锭喷砂连续作业,提高作业效率。
搜索关键词: 坩埚基座 支撑件 旋转臂 硅锭 坩埚 固定件 本实用新型 电子束熔炼 拆卸装置 可拆卸 槽体 支腿 底座 支撑件主体 底座两侧 对称固定 连续作业 使用寿命 提纯技术 作业效率 硅材料 上表面 拆卸 吊孔 挂件 喷砂
【主权项】:
1.一种电子束熔炼后硅锭的拆卸装置,其特征在于,包括支撑件、坩埚基座、底座(5)和固定件,支撑件包括支撑件主体(1)和支撑件支腿(11),支撑件支腿(11)上设有吊孔(18);坩埚基座包括旋转臂(4)和坩埚基座主体(6),坩埚基座主体(6)设有放置坩埚(8)的空间,旋转臂(4)对称固定于坩埚基座主体(6)的两侧,坩埚基座主体(6)的底部固定有挂件(7);底座(5)两侧的顶部开设有槽体(3),所述旋转臂(4)放置于槽体(3)中,坩埚基座以旋转臂(4)为轴,可在底座(5)上自由旋转;坩埚(8)由固定件可拆卸地固定于坩埚基座上,支撑件放置于坩埚(8)上表面,支撑件由固定件可拆卸地固定于坩埚基座上。
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