[实用新型]一种芯片生产制造用翻转装置有效
申请号: | 201821687157.6 | 申请日: | 2018-10-18 |
公开(公告)号: | CN208923071U | 公开(公告)日: | 2019-05-31 |
发明(设计)人: | 王飞;罗志云 | 申请(专利权)人: | 恒泰柯半导体(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/66 |
代理公司: | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人: | 赵霞 |
地址: | 201203 上海市浦东新区中国(*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及芯片生产制造辅助设备领域,具体涉及一种芯片生产制造用翻转装置,包括固定支架,固定支架右端固定安装有翻转电机,翻转电机连接有翻转轴,翻转轴中间位置固定连接有翻转支架,翻转轴左端活动连接固定支架左端前部内侧,翻转支架内侧后端右侧位置固定安装有驱动电机,驱动电机连接驱动齿轮,驱动齿轮齿轮连接从动齿轮,从动齿轮固定在驱动杆中间位置,驱动杆两端活动连接在翻转支架左右两侧后端位置,驱动杆左右两侧螺纹连接夹板后端,夹板中间位置套有限位杆,限位杆左右两端固定在翻转支架左右两端中间位置,本实用新型提供了一种能够对芯片进行双面检测同时方便翻转的翻转装置。 | ||
搜索关键词: | 翻转支架 翻转装置 固定支架 芯片生产 翻转轴 驱动杆 本实用新型 从动齿轮 翻转电机 活动连接 驱动齿轮 驱动电机 左右两侧 左端 制造 夹板中间位置 两端中间位置 夹板 齿轮连接 辅助设备 后端位置 两端固定 螺纹连接 双面检测 右侧位置 翻转 限位杆 前部 位杆 芯片 | ||
【主权项】:
1.一种芯片生产制造用翻转装置,包括固定支架(1),其特征在于:所述固定支架(1)右端固定安装有翻转电机(2),所述翻转电机(2)连接有翻转轴(3),所述翻转轴(3)中间位置固定连接有翻转支架(4),所述翻转轴(3)左端活动连接固定支架左端前部内侧,所述翻转支架(4)内侧后端右侧位置固定安装有驱动电机(5),所述驱动电机(5)连接驱动齿轮(6),所述驱动齿轮(6)齿轮连接从动齿轮(7),所述从动齿轮(7)固定在驱动杆(8)中间位置,所述驱动杆(8)两端活动连接在翻转支架(4)左右两侧后端位置,所述驱动杆(8)左右两侧螺纹连接夹板(9)后端,所述夹板(9)中间位置套有限位杆(10),所述限位杆(10)左右两端固定在翻转支架(4)左右两端中间位置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造