[实用新型]离子束筛选器和离子植入机有效
| 申请号： | 201821689947.8 | 申请日： | 2018-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN209029330U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 韦伟;洪纪伦;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/05 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种离子束筛选器，包括：具有第一孔的底板、具有第二孔的遮挡板，所述第一孔的孔径大于所述第二孔的孔径，所述遮挡板能够相对于底板移动，所述遮挡板覆盖所述底板的第一孔时，切换第二孔工作；所述遮挡板未覆盖所述底板的第一孔时，切换第一孔工作；还提供了一种离子植入机，包括：离子源、离子束筛选器以及如离子束分离器。在本实用新型提供的离子束筛选器和离子植入机中，通过离子束筛选器筛选出不同电流的离子束，适用于不同的机台对不同电流的离子束的需求。并且本实用新型通过控制器自动控制遮挡板的移动，实现电子束通过第一孔或第二孔的切换，从而自动筛选出不同电流的离子束。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 筛选器 遮挡板 底板 本实用新型 离子植入机 电子束 分离器 控制器自动控制 机台 底板移动 自动筛选 离子源 覆盖 筛选 移动 | ||
【主权项】：
1.一种离子束筛选器，其特征在于，包括：具有第一孔的底板、具有第二孔的遮挡板，所述第一孔的孔径大于所述第二孔的孔径，所述遮挡板能够相对于底板移动，所述遮挡板覆盖所述底板的第一孔时，切换第二孔工作；所述遮挡板未覆盖所述底板的第一孔时，切换第一孔工作。
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