[实用新型]研磨液过滤系统、研磨液供应系统及化学机械研磨设备有效
| 申请号： | 201821700687.X | 申请日： | 2018-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN208913880U | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 田得暄;辛君;吴龙江;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种研磨液过滤系统、研磨液供应系统及化学机械研磨设备，研磨液过滤系统包含：主管路，其一端作为研磨液供给端，其另一端作为研磨液输出端；过滤器，安装于主管路上；第一阀门，用于控制是否供应研磨液，安装于主管路上，且位于过滤器与研磨液供给端之间；以及清洗装置，用于向过滤器提供冲洗物质以排出过滤器中残存的研磨液，与第一阀门与过滤器之间的主管路相连接。本实用新型能够在更换过滤芯作业前，消除过滤芯中残存研磨液，具有降低处理过滤芯的安全风险的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨液 过滤器 过滤系统 过滤芯 化学机械研磨设备 研磨液供应系统 本实用新型 供给端 主管路 阀门 排出过滤器 清洗装置 输出端 冲洗 主管 安全 | ||
【主权项】：
1.一种研磨液过滤系统，其特征在于，包含：主管路，其一端作为研磨液供给端，其另一端作为研磨液输出端；过滤器，安装于所述主管路上；用于控制所述主管路通断的第一阀门，安装于所述主管路上，且位于所述过滤器与所述研磨液供给端之间；以及用于向所述过滤器提供冲洗物质以排出所述过滤器中残存的研磨液的清洗装置，与所述第一阀门和所述过滤器之间的所述主管路相连接。
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