[实用新型]用于片材沉积涂层的夹具及沉积装置有效
| 申请号： | 201821704780.8 | 申请日： | 2018-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN209243167U | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 唐永炳;陈波;王陶;杨扬 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/50;C23C14/26;C23C16/54;C23C16/458;C23C16/448 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 齐云 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于片材沉积涂层的夹具及沉积装置，涉及涂层沉积辅助设备技术领域。该夹具包括驱动件、转轴和装夹件，驱动件与转轴连接并能够带动转轴转动，装夹件设置在转轴上，装夹件上还设有至少两个用于固定片材的固定件；该夹具能够同时装载多片片材，且在驱动件的带动下能够实现不同片材位置的变换，即沉积过程中一次可对多片片材进行涂层沉积，极大减少了沉积过程的一些中间步骤，大大提高了沉积效率、缩短了生产周期，降低了生产成本，同时减弱了频繁更换片材时对热丝造成的不利影响，延长了热丝的使用寿命。本实用新型还提供一种沉积装置，包括炉体，上述用于片材沉积涂层的夹具位于炉体内并对片材进行夹持。 | ||
| 搜索关键词： | 夹具 片材 沉积涂层 沉积装置 驱动件 装夹件 本实用新型 涂层沉积 热丝 转轴 沉积 生产周期 沉积效率 带动转轴 辅助设备 片材位置 使用寿命 中间步骤 转轴连接 固定件 固定片 夹持 炉体 生产成本 转动 装载 体内 | ||
【主权项】：
1.一种用于片材沉积涂层的夹具，其特征在于，包括驱动件、转轴和装夹件；所述驱动件与所述转轴连接，并能够带动所述转轴转动，所述装夹件设置在所述转轴上，所述装夹件上还设有至少两个用于固定片材的固定件。
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