[实用新型]一种管式PECVD镀膜装置

摘要

本实用新型提供了一种管式PECVD镀膜装置。它解决了现有镀膜系统中没有混气结构，容易出现石英管内气体混合不充分，严重影响镀膜的一致性，镀膜不稳定等技术问题。本管式PECVD镀膜装置，包括机座，机座上固定有箱体，箱体内设置有内部具有镀膜腔的双层石英管，双层石英管内固定有感应线圈，双层石英管一端上具有取放口，双层石英管上设置有能将取放口封闭住的盖板，盖板和进气管一端相连通，进气管另一端与送气混合机构相连，进气管上设置有电磁阀一，双层石英管另一端和排气管一端相连通，排气管另一端与真空机构相连，排气管上设置有电磁阀二。本实用新型具有镀膜可靠的优点。

主权项

1.一种管式PECVD镀膜装置，包括机座，其特征在于，所述机座上固定有箱体，箱体内设置有内部具有镀膜腔的双层石英管，双层石英管内固定有感应线圈，双层石英管一端上具有取放口，双层石英管上设置有能将取放口封闭住的盖板，盖板和进气管一端相连通，进气管另一端与送气混合机构相连，进气管上设置有电磁阀一，双层石英管另一端和排气管一端相连通，排气管另一端与真空机构相连，排气管上设置有电磁阀二，送气混合机构包括转动轴、螺旋管一、螺旋管二、送气引管一、送气引管二和具有空腔的混合桶，混合桶通过支撑脚水平固定在机座上，转动轴水平转动设置在混合桶内，转动轴端部与一能带动其转动的动力结构相连，螺旋管一和螺旋管二分别盘绕在转动轴上，螺旋管一为正向盘绕，螺旋管二为反向盘绕，螺旋管一的一端为封闭端，螺旋管一的中部具有若干气孔一，螺旋管一的另一端和送气引管一的一端相连通，送气引管一的另一端穿过混合桶一侧与外界气源一相连，螺旋管二的一端为封闭端，螺旋管二的中部具有若干气孔二，螺旋管二的另一端和送气引管二的一端相连通，送气引管二的另一端穿过混合桶另一侧与外界气源二相连，混合桶中部还具有出气口，出气口和进气管另一端相连通。