[实用新型]PVD真空镀设备阴极偏压电流传导机构有效
| 申请号： | 201821713995.6 | 申请日： | 2018-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN208965018U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 唐其华 | 申请（专利权）人： | 华闽南配集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 353000 福建省南平市延*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及PVD真空镀设备阴极偏压电流传导机构，应用于传导活塞环PVD真空镀中阴极所需的电流。PVD真空镀设备阴极偏压电流传导机构，包括铜棒和工装架底板，其特征是还包括单直角铜排、双直角长铜排；单直角铜排前段与工装架底板下表面通过螺栓紧固；单直角铜排后段与双直角长铜排前段通过锁紧螺栓连接；双直角长铜排后段与铜棒上端侧部铣面通过螺丝紧固；双直角长铜排中段处于水平面内。具有以下优点：增大了铜棒上端向上传导电流的接触面，过电流能力增强；增粗了用于紧固的螺栓，铜棒与上部元件连接的接触状态改善明显；采用铜排螺栓紧固连接，电流传导状态稳定，避免了传导线路中因接触不稳定引起的发热。 | ||
| 搜索关键词： | 铜排 铜棒 电流传导机构 真空镀设备 螺栓 阴极偏压 工装架 上端 后段 紧固 活塞环 底板 阴极 本实用新型 底板下表面 过电流能力 传导电流 传导线路 电流传导 接触状态 紧固连接 螺丝紧固 上部元件 锁紧螺栓 状态稳定 真空镀 传导 铣面 中段 发热 应用 | ||
【主权项】：
1.PVD真空镀设备阴极偏压电流传导机构，包括铜棒(5)和工装架底板(1)，其特征是还包括单直角铜排、双直角长铜排；单直角铜排前段(7)与工装架底板(1)下表面通过螺栓紧固；单直角铜排后段(12)与双直角长铜排前段(11)通过锁紧螺栓(10)连接；双直角长铜排后段(8)与铜棒(5)上端侧部铣面通过螺丝紧固；双直角长铜排中段(9)处于水平面内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华闽南配集团股份有限公司，未经华闽南配集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821713995.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种具有双门快速开启装置的电镀机
- 下一篇：一种安全性高的数控真空镀膜机
- 同类专利
- 专利分类
