[实用新型]一种光学塑料基板镀膜装置有效
| 申请号： | 201821718562.X | 申请日： | 2018-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN208883977U | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 黄宏亮 | 申请（专利权）人： | 深圳市纳宏光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明新区公*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光学塑料基板镀膜装置，属于光学镀膜设备技术领域，所述的光学塑料基板镀膜装置包括壳体、蒸发源组件、旋转组件、氮气循环组件、分隔板和降温设备，所述蒸发源组件、旋转组件、氮气循环组件、分隔板和降温设备设置在壳体内部，所述分隔板包括一个第一分隔板、一个第二分隔板和三个第三分隔板；所述第一分隔板和第二分隔板将壳体内部分隔成三个腔室，三个腔室分别为蒸发室、镀膜室和设备室，蒸发室在镀膜室上方，镀膜室在设备室上方，所述设备室被第三分隔板分隔成循环室和电机室；本实用新型能够及时对光学塑料基板镀膜装置中的光学塑料基板进行降温，防止光学塑料基板因过热的蒸发物质而出现形变影响镀膜步骤的进行。 | ||
| 搜索关键词： | 分隔板 光学塑料 基板镀膜 镀膜室 设备室 隔板 本实用新型 蒸发源组件 氮气循环 降温设备 壳体内部 旋转组件 蒸发室 分隔 光学镀膜设备 镀膜步骤 三个腔室 形变影响 蒸发物质 电机室 基板因 循环室 过热 基板 壳体 腔室 | ||
【主权项】：
1.一种光学塑料基板镀膜装置，包括壳体(1)、蒸发源组件(2)、旋转组件(3)、氮气循环组件(4)、分隔板和降温设备(13)，所述蒸发源组件(2)、旋转组件(3)、氮气循环组件(4)、分隔板和降温设备(13)设置在壳体(1)内部，所述分隔板包括一个第一分隔板(5)、一个第二分隔板(9)和三个第三分隔板(12)；所述第一分隔板(5)和第二分隔板(9)将壳体(1)内部分隔成三个腔室，三个腔室分别为蒸发室(6)、镀膜室(7)和设备室(8)，蒸发室(6)在镀膜室(7)上方，镀膜室(7)在设备室(8)上方，所述设备室(8)被第三分隔板(12)分隔成循环室(10)和电机室(11)；其特征在于，所述蒸发源组件(2)设置在蒸发室(6)和镀膜室(7)内，所述旋转组件(3)设置在设备室(8)和镀膜室(7)内，所述氮气循环组件(4)设置在循环室(10)和镀膜室(7)内；所述降温设备(13)为现有技术中常见的KT(40)A工业环保空调。
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