[实用新型]一种图形化蓝宝石衬底加工用承载台装置有效

申请号：	201821720241.3	申请日：	2018-10-23
公开（公告）号：	CN208938953U	公开（公告）日：	2019-06-04
发明（设计）人：	陈炳寺	申请（专利权）人：	湖南晶杰光电科技有限公司
主分类号：	H01L21/683	分类号：	H01L21/683;H01L33/00;H01L33/20
代理公司：	长沙明新专利代理事务所(普通合伙) 43222	代理人：	徐新
地址：	413000 ***	国省代码：	湖南;43
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摘要：	本实用新型公开了一种图形化蓝宝石衬底加工用承载台装置，包括承载台防护外壳、真空泵外壳、承台柱和杂质收集盒，所述杂质收集盒两侧面分别固定焊接有两个支撑杆，所述杂质收集盒顶部通过支撑杆固定焊接有承载台防护外壳，所述承载台防护外壳内部均匀等距排列设置有承台柱，本实用新型由于在承载台防护外壳内部通过连接板安装有多个承台柱，并且在承台柱上安装有吸盘，能够利用真空泵通过气管将吸盘内部空气抽出，方便利用吸盘将图形化蓝宝石衬底进行固定，在加工时产生的杂质能够掉落在承台柱之间的缝隙中，使得杂质能够被杂质收集盒进行收集，避免图形化蓝宝石衬底在加工过程中被杂质磨损，使用效果较好。
搜索关键词：	承载台台柱图形化蓝宝石杂质收集盒防护外壳吸盘本实用新型衬底加工固定焊接真空泵支撑杆衬底均匀等距排列内部空气杂质磨损连接板两侧面掉落气管抽出加工
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【主权项】：

1.一种图形化蓝宝石衬底加工用承载台装置，包括承载台防护外壳(1)、真空泵外壳(4)、承台柱(7)和杂质收集盒(11)，其特征在于：所述杂质收集盒(11)两侧面分别固定焊接有两个支撑杆(12)，所述杂质收集盒(11)顶部通过支撑杆(12)固定焊接有承载台防护外壳(1)，所述承载台防护外壳(1)内部均匀等距排列设置有承台柱(7)，所述承台柱(7)四个侧面分别固定焊接有连接板(3)，所述承台柱(7)之间通过连接板(3)固定焊接，所述承台柱(7)通过连接板(3)固定焊接在承载台防护外壳(1)内壁，所述承台柱(7)顶部插接有吸盘(2)，所述承台柱(7)底部插接有气管(13)，所述气管(13)穿过承台柱(7)与吸盘(2)贯通连接，所述气管(13)远离承台柱(7)一端固定安装有气管接头母端(9)；所述杂质收集盒(11)一侧面中心固定焊接有真空泵外壳(4)，所述真空泵外壳(4)内部通过螺丝钉固定安装有真空泵(10)，所述真空泵(10)工作端均匀固定安装有气管接头公端(6)。

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专利分类

H 电学

H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造

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