[实用新型]一种安全防爆膜均匀溅射镀膜装置及该装置加工的安全防爆膜

摘要

本实用新型公开了一种安全防爆膜均匀溅射镀膜装置及该装置加工的安全防爆膜，包括密封的矩形的壳体、送料辊和收料辊，所述壳体的内部设置有阴极靶材、阳极基片、进气圆盘和两个辊道。可以保持介质薄膜的平整性，从而在溅射镀膜的过程中，镀层可以保持均一性，在送料辊和收料辊在拉扯的情况下容易出现介质受力不均匀，这里可以防止介质由于张力的影响导致镀层不均一的问题。

主权项

1.一种安全防爆膜均匀溅射镀膜装置，其特征在于：包括密封的矩形的壳体、送料辊和收料辊，所述壳体的内部设置有阴极靶材、阳极基片、进气圆盘和两个辊道；所述阴极靶材和阳极基片上、下平行设置，所述阴极靶材和阳极基片之间设置有所述辊道，所述阳极基片的下方设置有进气圆盘；两个所述辊道前、后相对设置，所述辊道包括两个上滚轮和两个下滚轮，两个所述上滚轮分别与两个下滚轮上、下一一对应安装，两个所述上滚轮之间和两个下滚轮之间均设置有履带，所述上滚轮与壳体上壁之间设置有支撑杆I，所述下滚轮与壳体下壁之间设置有支撑杆II，所述支撑杆I包括管槽I、滑竿I、弹簧I和丝杆，所述滑竿I的下端与上滚轮固接，所述管槽I的上端与壳体上壁垂直固接，所述滑竿I的上端延伸至管槽I中并与管槽I内壁之间滑动配合，所述丝杆的上端穿过壳体上壁并且与壳体上壁之间螺接配合，所述丝杆的上端设置有旋钮，所述丝杆的下端延伸至管槽I中，所述丝杆的下端与滑杆I的上端之间设置有所述弹簧I；所述支撑杆II包括管槽II、滑竿II和弹簧II，所述管槽II的下端垂直固定在壳体下侧壁上，所述滑竿II的上端与下滚轮固定，所述滑竿II的下端延伸至管槽II中并与管槽II内壁之间滑动配合，所述滑竿II的下端与壳体下侧壁之间设置有所述弹簧II。