[实用新型]带气动挡板的阴极电弧源有效
| 申请号： | 201821728876.8 | 申请日： | 2018-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN209010592U | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 王汉春;张金兴;罗来山 | 申请（专利权）人： | 金山莱宝（厦门）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 南昌赣专知识产权代理有限公司 36129 | 代理人： | 张文宣 |
| 地址： | 361021 福建省厦*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了带气动挡板的阴极电弧源，属于阴极电弧源领域，带气动挡板的阴极电弧源包括法兰座和阴极电弧源本体，阴极电弧源本体固定在法兰座上，还包括气动挡板，气动挡板包括支架杆、驱动支架杆转动的旋转气缸、密封件、以及屏蔽上板，支架杆穿过法兰座，且能够相对法兰座转动，支架杆的一端与旋转气缸固定连接，支架杆的另一端与屏蔽上板的外边沿固定连接，屏蔽上板位于阴极电弧源本体的上方，支架杆与法兰座的接触处通过密封件密封。本实用新型的带气动挡板的阴极电弧源无需空炉镀制清洗靶材，节约时间。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极电弧源 气动挡板 法兰座 支架杆 屏蔽 上板 本实用新型 旋转气缸 密封件密封 驱动支架 杆转动 接触处 密封件 外边沿 靶材 镀制 空炉 转动 清洗 穿过 节约 | ||
【主权项】：
1.带气动挡板的阴极电弧源，包括法兰座(1)和阴极电弧源本体(100)，所述阴极电弧源本体(100)固定在所述法兰座(1)上，其特征在于：还包括气动挡板(5)；所述气动挡板(5)包括支架杆(51)、驱动所述支架杆(51)转动的旋转气缸(52)、密封件(53)、以及屏蔽上板(54)；所述支架杆(51)穿过所述法兰座(1)，且能够相对所述法兰座(1)转动；所述支架杆(51)的一端与所述旋转气缸(52)固定连接；所述支架杆(51)的另一端与所述屏蔽上板(54)的外边沿固定连接；所述屏蔽上板(54)位于所述阴极电弧源本体(100)的上方；所述支架杆(51)与所述法兰座(1)的接触处通过所述密封件(53)密封。
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