[实用新型]带有报警装置的数控真空镀膜机有效
| 申请号： | 201821739994.9 | 申请日： | 2018-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN208965029U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 王汉春;张金兴;罗来山 | 申请（专利权）人： | 金山莱宝（厦门）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 南昌赣专知识产权代理有限公司 36129 | 代理人： | 张文宣 |
| 地址： | 361021 福建省厦*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了带有报警装置的数控真空镀膜机，属于镀膜机领域，带有报警装置的数控真空镀膜机包括镀膜室和油扩散泵，油扩散泵与镀膜室的底端固定连接，还包括用于冷却油扩散泵的冷却组件、以及控制器，冷却组件上设有防回油报警件，防回油报警件与控制器电性连接，镀膜室上设有高温报警件，高温报警件与控制器电性连接，控制器与油扩散泵电性连接。本实用新型的带有报警装置的数控真空镀膜机报警及时，安全性高。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜机 报警装置 数控 油扩散泵 镀膜室 本实用新型 控制器电性 高温报警 冷却组件 控制器 报警件 回油 电性连接 镀膜机 扩散泵 冷却油 底端 报警 | ||
【主权项】：
1.带有报警装置的数控真空镀膜机，包括镀膜室(1)和油扩散泵(2)，所述油扩散泵(2)与所述镀膜室(1)的底端固定连接，其特征在于：还包括用于冷却所述油扩散泵(2)的冷却组件(3)、以及控制器(6)；所述冷却组件(3)上设有防回油报警件(4)，所述防回油报警件(4)与所述控制器(6)电性连接；所述镀膜室(1)上设有高温报警件(5)，所述高温报警件(5)与所述控制器(6)电性连接；所述控制器(6)与所述油扩散泵(2)电性连接。
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