[实用新型]一种化学浴沉积实验装置

摘要

本实用新型公开了一种化学浴沉积实验装置，涉及实验装置技术领域，框架呈框状结构，摆动平台设于框状结构内，转轴贯穿摆动平台设置并与摆动平台固连，其一端与框架转动连接，另一端与固设与框架上的步进电机的输出端固连；加热台设于摆动平台上，反应仓设于加热台上，加热台和反应仓通过卡具与摆动平台连接固定；框架底部设各支脚，并通过各支脚支撑固定。本实用新型采用单轴周期往复摇摆方式替代磁力搅拌，解决了磁力搅拌中溶液涡流引起的反应不均的问题，在不锈钢框架中间安置旋转轴，利用步进马达驱动旋转轴摇摆，保证溶液温和地混合充分，通过控温平板进行加热，加热更为精准，基片温度更加均匀，提高沉积薄膜的均匀性，进而提高薄膜质量。

主权项

1.一种化学浴沉积实验装置，其特征在于：框架(11)呈框状结构，摆动平台(12)设于所述框状结构内，转轴(14)贯穿所述摆动平台(12)设置并与所述摆动平台(12)固连，其一端与所述框架(11)转动连接，另一端与固设与所述框架(11)上的步进电机(13)的输出端固连；加热台(3)设于所述摆动平台(12)上，反应仓(4)设于所述加热台(3)上，所述加热台(3)和所述反应仓(4)通过卡具(2)与所述摆动平台(12)连接固定；所述框架(11)底部设各支脚(15)，并通过各所述支脚(15)支撑固定。