[实用新型]基片固定结构、夹具及夹持系统有效
| 申请号： | 201821756717.9 | 申请日： | 2018-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN209144250U | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 苏艳波 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 韩建伟;谢湘宁 |
| 地址： | 102299 北京市昌*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种基片固定结构、夹具及夹持系统。其中，基片夹设在基片固定结构与载板之间，基片固定结构包括：本体，本体具有进气孔、连通部及排气孔，进气孔通过连通部与排气孔连通；其中，排气孔设置在本体朝向基片的第一表面上，从排气孔排出的气体进入至基片与基片固定结构之间。本实用新型有效地解决了现有技术中基片固定结构在取出过程中易将基片一同带起，造成基片碎裂的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 固定结构 排气孔 连通 夹具 本实用新型 夹持系统 进气孔 第一表面 排气孔排 碎裂 基片夹 有效地 载板 取出 | ||
【主权项】：
1.一种基片固定结构，基片(10)夹设在所述基片固定结构与载板(20)之间，其特征在于，所述基片固定结构包括：本体(31)，所述本体(31)具有进气孔(311)、连通部及排气孔(312)，所述进气孔(311)通过所述连通部与所述排气孔(312)连通；其中，所述排气孔(312)设置在所述本体(31)朝向所述基片(10)的第一表面，从所述排气孔(312)排出的气体进入至所述基片(10)与所述基片固定结构之间。
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