[实用新型]一种光掩膜清洗装置有效
| 申请号： | 201821758937.5 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN209577525U | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 熊启龙;鄢红军 | 申请（专利权）人： | 深圳清溢光电股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 陈娟 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光掩膜清洗装置，包括进液管，所述进液管为两个，在两个进液管的末端具有一段混合管，每一个所述进液管上安装气阀，所述混合管内部具有螺旋导流片，所述混合管末端安装液帘喷头。本实用新型是一种清洗光掩膜上有机污染物的改进装置，可以在更近的距离内完成工作，使清洗更加精确与彻底，并且不会产生液体飞溅的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 进液管 光掩膜 混合管 本实用新型 清洗装置 清洗 螺旋导流片 有机污染物 改进装置 液帘喷头 液体飞溅 气阀 | ||
【主权项】：
1.一种光掩膜清洗装置，包括进液管，所述进液管为两个，在两个进液管的末端具有一段混合管，其特征在于：每一个所述进液管上安装气阀，所述混合管内部具有螺旋导流片，所述混合管末端安装出液装置。
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