[实用新型]一种单晶硅棒参数自动检测装置有效
| 申请号： | 201821763328.9 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN209356625U | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 叶欣;汪辉;金光前;李财源;严顺康;洪昀;何守龙 | 申请（专利权）人： | 杭州中为光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R27/02 |
| 代理公司： | 浙江英普律师事务所 33238 | 代理人： | 陈小良 |
| 地址： | 310030 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的一种单晶硅棒参数自动检测装置，能够自动、精准、快速的测量硅棒电阻率和导电型号。本实用新型所述的一种单晶硅棒参数自动检测装置，包括机架和设置于机架上的检测输送线，在机架上设置有测试台，测试台包括横向导轨、滑座和纵向导轨、滑架，在滑架上设置有回转架，回转架上设置有电阻测笔和导电型号测笔，电阻测笔与电阻率测试仪连接，导电型号测笔与导电型号测试仪连接，回转架由电机驱动转动。该方案使得电阻测笔和导电型号测笔具有较高的灵活性，即电阻测笔、导电型号测笔相对于机架可以做上下左右及旋转动作，利用该装置可以方便地测量硅棒的电阻率及导电型号，提高了硅棒的检测效率及检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 导电 测笔 电阻 自动检测装置 单晶硅棒 回转架 硅棒 本实用新型 测试台 电阻率 滑架 检测 测量 电阻率测试仪 电机驱动 横向导轨 旋转动作 纵向导轨 测试仪 输送线 滑座 转动 | ||
【主权项】：
1.一种单晶硅棒参数自动检测装置，包括机架(1)和设置于机架(1)上的检测输送线(2)，其特征是：在所述机架(1)上还设置有测试台(3)，所述测试台(3)包括横向导轨(4)，在所述横向导轨(4)上设置有沿所述横向导轨(4)移动的滑座(5)，在所述滑座(5)上设置有纵向导轨(6)，在所述纵向导轨(6)上设置有沿所述纵向导轨(6)移动的滑架(7)，所述测试台(3)还包括驱动所述滑座(5)沿所述横向导轨(4)移动的横向驱动机构和驱动所述滑架(7)沿所述纵向导轨(6)移动的纵向驱动机构，在所述滑架(7)上设置有回转架(8)，在所述回转架(8)上设置有电阻测笔(9)和导电型号测笔(10)，所述机架(1)上设置有电阻率测试仪(11)和导电型号测试仪(12)，所述电阻测笔(9)与电阻率测试仪(11)连接，所述导电型号测笔(10)与导电型号测试仪(12)连接，所述滑架(7)上还设置有驱动所述回转架(8)旋转的电机(13)。
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