[实用新型]无掩膜光刻机控制系统有效
| 申请号： | 201821767365.7 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN208819019U | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 叶权;向正西 | 申请（专利权）人： | 中山新诺科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 冯右明 |
| 地址： | 528437 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种无掩膜光刻机控制系统，包括：电源主控电路、工控机、IO控制板、服务器电源控制电路及第一服务器；电源主控电路分别与供电电源及工控机连接，用于控制工控机启动或关机；工控机与IO控制板通信连接，IO控制板与第一服务器连接，工控机用于通过向IO控制板发送控制指令，控制第一服务器启动；电源主控电路与服务器电源控制电路连接，服务器电源控制电路连接第一服务器，电源主控电路还用于通过服务器电源控制电路控制第一服务器关机。本实用新型将无掩膜光刻机内工控机与若干服务器的启动或关机进行联动控制，无需对工控机及各服务器进行一一控制启动或关机，简化控制过程，提高工业生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 第一服务器 工控机 服务器电源控制 电源主控电路 关机 掩膜 光刻机控制系统 本实用新型 电路连接 发送控制指令 控制工控机 若干服务器 电路控制 供电电源 控制过程 控制启动 联动控制 通信连接 光刻机 控机 服务器 电路 | ||
【主权项】：
1.一种无掩膜光刻机控制系统，其特征在于，包括：电源主控电路、工控机、IO控制板、服务器电源控制电路及第一服务器；所述电源主控电路分别与供电电源及所述工控机连接，用于控制所述工控机启动或关机；所述工控机与所述IO控制板通信连接，所述IO控制板与所述第一服务器连接，所述工控机用于通过向所述IO控制板发送控制指令，控制所述第一服务器启动；所述电源主控电路与所述服务器电源控制电路连接，所述服务器电源控制电路连接所述第一服务器，所述电源主控电路还用于通过所述服务器电源控制电路控制所述第一服务器关机。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中山新诺科技股份有限公司，未经中山新诺科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821767365.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
