[实用新型]一种砷烷气体吸收过滤系统有效
| 申请号： | 201821767909.X | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN209247731U | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 刘文杰;赵青松 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 102299 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种砷烷气体吸收过滤系统。该砷烷气体吸收过滤系统包括电解槽、气体过滤装置和手套箱，所述电解槽设置于所述手套箱中，所述电解槽通过第一输送管路与所述气体过滤装置的进气口相连，所述手套箱通过第二输送管路与所述气体过滤装置的进气口相连。本实用新型提供的砷烷气体吸收过滤系统，将电解槽设置于手套箱中，手套箱通过第二输送管路与气体过滤装置相连，即使电解槽存在泄漏，所泄漏的砷烷气体也能够通过第二输送管路输送至气体过滤装置，最终被气体过滤装置吸收，从而有效避免砷烷气体外泄，更加安全、可靠的吸收和过滤砷烷气体。 | ||
| 搜索关键词： | 气体过滤装置 砷烷 电解槽 手套箱 过滤系统 气体吸收 输送管路 进气口 本实用新型 泄漏 半导体技术领域 气体外泄 吸收 过滤 安全 | ||
【主权项】：
1.一种砷烷气体吸收过滤系统，其特征在于：包括电解槽、气体过滤装置以及手套箱，所述电解槽设置于所述手套箱中，所述电解槽的出气口与第一输送管路的一端相连，所述第一输送管路的另一端穿过所述手套箱与所述气体过滤装置的进气口相连，所述手套箱通过第二输送管路与所述气体过滤装置的进气口相连。
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