[实用新型]MEMS设备和电子装置有效
| 申请号： | 201821772595.2 | 申请日： | 2018-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN209367796U | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | D·帕奇;M·费雷拉;A·皮科 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B3/00;B81C1/00;H01L41/09 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 本实用新型的各实施例涉及MEMS设备和电子装置。一种MEMS设备，包括：主体，具有第一表面和第二表面；隔膜腔体，在主体内并且从主体的第二表面延伸；可变形部分，在主体内并且在第一表面和隔膜腔体之间；和压电致动器，在主体在第一表面上延伸并且在可变形部分之上。MEMS设备的特征在于其包括凹槽结构，该凹槽结构在主体内延伸并且为可变形部分界定止动器部分。 | ||
| 搜索关键词： | 第一表面 可变形 凹槽结构 第二表面 电子装置 隔膜腔 延伸 本实用新型 压电致动器 止动器 界定 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS设备，其特征在于，包括：主体，具有第一表面和第二表面以及在所述第一表面和所述第二表面之间的第一厚度；腔体，在所述主体中并且从所述第二表面延伸到所述主体中，所述腔体由所述主体的壁界定；在所述主体中、在所述第一表面和所述腔体之间的可变形部分；在所述可变形部分上的压电致动器；以及凹槽，在所述腔体处在所述主体的所述壁内并且形成所述主体的柔性部分，所述主体的所述柔性部分在所述可变形部分和所述凹槽之间，其中所述主体的所述柔性部分被配置为当大于特定阈值的力被施加到所述可变形部分时弯折。
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