[实用新型]蒸镀装置及其挡板机构有效
| 申请号： | 201821778438.2 | 申请日： | 2018-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN209128529U | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 魏雄伟 | 申请（专利权）人： | 广东聚华印刷显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 向薇 |
| 地址： | 510000 广东省广州市广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种蒸镀装置及其挡板机构，该挡板机构在挡板上设置有收放装置，在收放装置设有收集薄膜且覆盖挡板的收集面，收放装置对收集薄膜进行收放，蒸镀工艺中收集薄膜上沉积了一定量的蒸镀材料之后，收放装置收放收集薄膜，使沉积有蒸镀材料的收集薄膜的部分卷收起来，而未沉积有蒸镀材料的收集薄膜的部分覆盖在挡板上进行沉积。如此，沉积的蒸镀材料不会随挡板的运动而发生脱落，避免了污染蒸镀装置的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 沉积 挡板 收放装置 蒸镀材料 挡板机构 蒸镀装置 收放 本实用新型 收集面 覆盖 卷收 蒸镀 污染 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置的挡板机构，其特征在于，包括挡板、收放装置和收集薄膜，所述挡板的一端用于与蒸镀装置的蒸镀腔体连接，所述挡板具有收集面；所述收放装置设于所述挡板上，所述收集薄膜设于所述收放装置上且覆盖所述收集面，所述收集薄膜用于收集蒸镀材料，所述收放装置用于收放所述收集薄膜。
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