[实用新型]一种半导体晶棒熔炼拉晶装置

摘要

本实用新型提供一种半导体晶棒熔炼拉晶装置，包括熔炼机、拉晶机和冷却装置，冷却装置分别与熔炼机、拉晶机连接，熔炼机包括熔炼炉和熔炼机主体，熔炼炉底部通过支撑杆与熔炼机主体转动连接，支撑杆与熔炼机主体固定连接，熔炼机主体内部设有摇摆电机，摇摆电机螺母固定有摇摆杆，且摇摆杆另一端与熔炼炉转动连接，拉晶机包括拉晶机壳体，保温壳内嵌于外柜体上层的槽型区域内，保温壳顶部固定有拉晶管，外柜体底部设有空腔，空腔内设有伺服电机和减速机，伺服电机的输出端与减速机相连接，减速机的输出端连接有升降丝杆，升降丝杆上固定连接有升降板，升降板上与拉晶管相对应的位置放置有拉晶炉。本实用新型具有易于操作、高效快捷等优点。

主权项

1.一种半导体晶棒熔炼拉晶装置，其特征在于：包括熔炼机(1)、拉晶机(2)和冷却装置，所述冷却装置分别与熔炼机(1)、拉晶机(2)连接，所述熔炼机(1)包括熔炼炉(11)和熔炼机主体(12)，所述熔炼炉(11)内部设有熔炼腔(13)，所述熔炼炉(11)炉壁内设有电磁热丝(14)，所述熔炼炉(11)侧壁上设有炉口(15)，所述熔炼炉(11)两侧与支撑杆(16)转动连接，所述支撑杆(16)与所述熔炼机主体(12)固定连接，所述熔炼机主体(12)内部中空，所述熔炼机主体(12)内部设有摇摆电机(17)，所述摇摆电机(17)螺栓固定连接摇摆杆(18)的一端，所述熔炼机主体(12)顶部设有第一通孔(19)，所述摇摆杆(18)贯穿于所述第一通孔(19)，且所述摇摆杆(18)另一端与所述熔炼炉(11)铰链连接；所述拉晶机(2)包括拉晶机壳体，所述拉晶机壳体包括保温壳(21)和外柜体(22)，所述外柜体(22)上层设有槽型区域(23)，所述保温壳(21)内嵌于所述槽型区域(23)内，所述保温壳(21)顶部固定有拉晶管(24)，所述外柜体(22)底部设有空腔(25)，所述空腔(25)与所述槽型区域(23)之间通过第二通孔(26)相连通，所述空腔(25)内设有伺服电机(27)和减速机(28)，所述伺服电机(27)的输出端与减速机(28)的输入端相连接，所述减速机(28)的输出端连接有升降丝杆(29)，所述升降丝杆(29)通过第二通孔(26)作用于槽型区域(23)内部，所述升降丝杆(29)上固定连接有升降板(210)，所述升降板(210)上与拉晶管(24)相对应的位置设置有炉槽(213)，所述炉槽(213)内放置有拉晶炉(211)，所述拉晶炉(211)设置有发热丝和温度传感芯片；所述冷却装置可为自然冷却装置。