[实用新型]一种PVD加热装置及设备有效
| 申请号： | 201821786829.9 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN209144241U | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 王建新;胡庆为 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 曾晨;王立民 |
| 地址： | 102209 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种PVD加热装置及设备，前者包包括导电支撑机构、导电连接机构、电热元件和电热元件驱动单元；导电支撑机构安装在腔体上；导电连接机构被设置为用于连接导电支撑机构和电热元件，以使得电热元件与导电支撑机构电连接；电热元件驱动单元被设置为用于带动电热元件在腔体内移动。本申请的PVD加热装置通过导电连接机构连接电热元件和导电支撑机构，实现电热元件的通电加热。电热元件驱动单元可驱动电热元件在腔体内移动，避免与载板干涉，有效地去除腔体内的水蒸气。 | ||
| 搜索关键词： | 电热元件 导电支撑机构 导电连接机构 加热装置 驱动单元 体内 本实用新型 水蒸气 通电加热 电连接 有效地 移动 腔体 去除 载板 干涉 驱动 申请 | ||
【主权项】：
1.一种PVD加热装置，其特征在于，包括导电支撑机构、导电连接机构、电热元件和电热元件驱动单元；其中，所述导电支撑机构安装在腔体上；所述导电连接机构被设置为用于连接所述导电支撑机构和所述电热元件，以使得所述电热元件与所述导电支撑机构电连接；所述电热元件驱动单元被设置为用于带动所述电热元件在腔体内移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东泰高科装备科技有限公司，未经东泰高科装备科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821786829.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种中低温太阳光谱选择性吸收涂层
- 下一篇：一种派瑞林内循环式镀膜桶
- 同类专利
- 专利分类
