[实用新型]一种清洗沉积在掩膜盖板表面的ITO薄膜的装置有效
| 申请号： | 201821787595.X | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN209024629U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 丁蕾 | 申请（专利权）人： | 成都东腾薄膜太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L31/18 |
| 代理公司： | 成都顶峰专利事务所(普通合伙) 51224 | 代理人： | 李永生 |
| 地址： | 610000 四川省成都市双流*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型属于HIT电池ITO导电薄膜清洗技术领域，本实用新型公开了一种清洗沉积在掩膜盖板表面的ITO薄膜的装置，包括酸洗腔室、喷淋腔室和风淋烘干腔室；风淋烘干腔室包括风淋腔室和烘干腔室；酸洗腔室、喷淋腔室、风淋腔室和烘干腔室依次连接；酸洗腔室上设有储酸装置；喷淋腔室上设有去离子水储存装置；风淋腔室上设有高压空气存储装置；烘干腔室上设有加热装置，器具依次通过酸洗腔室、喷淋腔室、风淋腔室和烘干腔室后除去ITO薄膜。本实用新型具有减少备件需求量、减少筛选脱膜掩膜盖的人力和降低了人力与物力成本的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 腔室 烘干腔室 风淋 喷淋腔 酸洗 本实用新型 掩膜 盖板表面 沉积 清洗 储存装置 储酸装置 存储装置 高压空气 加热装置 清洗技术 去离子水 物力成本 依次连接 备件 脱膜 需求量 电池 筛选 | ||
【主权项】：
1.一种清洗沉积在掩膜盖板表面的ITO薄膜的装置，其特征在于：包括酸洗腔室、喷淋腔室和风淋烘干腔室；所述风淋烘干腔室包括风淋腔室和烘干腔室；所述酸洗腔室、喷淋腔室、风淋腔室和烘干腔室依次连接；所述酸洗腔室上设有储酸装置；所述喷淋腔室上设有去离子水储存装置；所述风淋腔室上设有高压空气存储装置；所述烘干腔室上设有加热装置，器具依次通过酸洗腔室、喷淋腔室、风淋腔室和烘干腔室后除去ITO薄膜。
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