[实用新型]高温铝基板加热器及真空加热设备

摘要

本实用新型实施例公开了一种高温铝基板加热器及真空加热设备，该高温铝基板加热器包括：第一铝板、第二铝板、加热丝和非发热丝，第一铝板上设有第一埋线槽、第二埋线槽、第三埋线槽，第一埋线槽从第一铝板一侧的开口起始以第一间距盘绕并延伸至开口，第二埋线槽从开口起始以第二间距盘绕并延伸至开口，第二埋线槽位于第一埋线槽的外侧，第三埋线槽从开口起始以第三间距盘绕并延伸至开口，第三埋线槽位于第二埋线槽的外侧，第三间距小于第二间距，第二间距小于第一间距。加热丝设置在各埋线槽内，第二铝板叠设在第一铝板上，非发热丝的一端分别与加热丝的两端电性连接，非发热丝的另一端用于外接电源。通过上述结构从而解决加热不均匀的问题。

主权项

1.一种高温铝基板加热器，其特征在于，包括：第一铝板、第二铝板、第一加热丝、第二加热丝、第三加热丝、两根第一非发热丝、两根第二非发热丝和两根第三非发热丝；/n所述第一铝板上设有第一埋线槽、第二埋线槽、第三埋线槽；/n所述第一铝板一侧设有开口；/n所述第一埋线槽从所述开口起始并向所述第一铝板延伸，以第一间距均匀盘绕，并继续延伸至所述开口；/n所述第二埋线槽从所述开口起始并向所述第一铝板延伸，以第二间距均匀盘绕，并继续延伸至所述开口，所述第二埋线槽位于所述第一埋线槽的外侧；/n所述第三埋线槽从所述开口起始并向所述第一铝板延伸，以第三间距均匀盘绕，并继续延伸至所述开口，所述第三埋线槽位于所述第二埋线槽的外侧；/n所述第三间距小于所述第二间距，所述第二间距小于所述第一间距；/n所述第一加热丝设置在所述第一埋线槽内，以形成第一加热区域；/n所述第二加热丝设置在所述第二埋线槽内，以形成第二加热区域；/n所述第三加热丝设置在所述第三埋线槽内，以形成第三加热区域；/n所述第二铝板叠设在所述第一铝板上，使所述第一加热丝、第二加热丝、第三加热丝位于所述第二铝板与所述第一铝板之间；/n所述两根第一非发热丝的一端分别与所述第一加热丝的两端电性连接，所述两根第一非发热丝的另一端用于外接电源；/n所述两根第二非发热丝的一端分别与所述第二加热丝的两端电性连接，所述两根第二非发热丝的另一端用于外接电源；/n所述两根第三非发热丝的一端分别与所述第三加热丝的两端电性连接，所述两根第三非发热丝的另一端用于外接电源。/n