[实用新型]蒸镀掩模装置有效
| 申请号： | 201821792400.0 | 申请日： | 2018-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN209816256U | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 冈本英介 | 申请（专利权）人： | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 11127 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 于靖帅;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 蒸镀掩模装置具有：蒸镀掩模，其包含从位于基板侧的第1面至位于第1面的相反侧的第2面的多个掩模贯通孔；以及框架，其设置有与蒸镀掩模的一部分重叠的开口部并且对蒸镀掩模进行支承。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模 贯通孔 开口部 相反侧 基板 掩模 支承 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀掩模装置，其至少临时与保持部件所保持的基板组合，其特征在于，该蒸镀掩模装置具有：/n蒸镀掩模，其包含从位于所述基板侧的第1面至位于所述第1面的相反侧的第2面的多个掩模贯通孔；以及/n框架，其设置有与所述蒸镀掩模的一部分重叠的开口部并且对所述蒸镀掩模进行支承，/n所述框架具有：/n正面，其面向所述蒸镀掩模的所述第2面；/n背面，其与所述正面对置；/n外侧面，其在所述正面与所述背面之间扩展；以及/n内侧面，其面向所述开口部，在比所述外侧面靠内侧的位置在所述正面与所述背面之间扩展，/n在所述框架的所述正面中的远离所述开口部的位置形成有能够收纳所述保持部件的至少一部分的多个收纳部。/n
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