[实用新型]一种辅助装卸镀膜机离化源的装置有效
申请号: | 201821808838.3 | 申请日: | 2018-11-05 |
公开(公告)号: | CN209854238U | 公开(公告)日: | 2019-12-27 |
发明(设计)人: | 刘玉杰 | 申请(专利权)人: | 天津涂冠科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32 |
代理公司: | 11640 北京中索知识产权代理有限公司 | 代理人: | 赵登阳 |
地址: | 300000 天津市津南*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种辅助装卸镀膜机离化源的装置,包括移动载体推车、离化源和靶材座,所述移动载体推车上设有升降支架滑动轨道和操控器,所述升降支架滑动轨道上设有升降支架,所述升降支架上设有离化源支架滑动轨道,所述离化源支架滑动轨道上设有放置离化源支架。本实用新型在一定程度上解放了操作工人体力劳动,使得力量较弱的操作工人同样可以无障碍进行生产操作;机械化的辅助安装,可规避由于人为可能造成的离化源摔损、密封胶圈错位、损伤造成密封失效等不必要的麻烦,确保生产顺利进行;尤其适用于体积较大的镀膜机,可避免当操作工人在更换离化源时需高空作业所造成的一系列不必要的麻烦。 | ||
搜索关键词: | 离化源 滑动轨道 升降支架 支架 本实用新型 移动载体 镀膜机 高空作业 辅助安装 密封胶圈 密封失效 生产操作 操控器 无障碍 靶材 推车 机械化 装卸 错位 损伤 力量 生产 | ||
【主权项】:
1.一种辅助装卸镀膜机离化源的装置,包括移动载体推车(1)、离化源(7)和靶材座(8),其特征在于,所述移动载体推车(1)上设有升降支架滑动轨道(2)和操控器(3),所述升降支架滑动轨道(2)上设有升降支架(4),所述升降支架(4)上设有离化源支架滑动轨道(5),所述离化源支架滑动轨道(5)上设有放置离化源支架(6),所述升降支架(4)和放置离化源支架(6)均与操控器(3)电性连接。/n
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