[实用新型]一种镀膜设备沉积腔室和镀膜设备有效
| 申请号： | 201821809204.X | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN209555352U | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 田保峡;闻益;曲士座 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种镀膜设备沉积腔室，在所述沉积腔室的底板上设置有金属蒸发源和非金属蒸发源，其中，在所述底板上设置的每排非金属蒸发源的个数为M个；并且，该M个非金属蒸发源分散布置在所述底板的长度方向；M为大于等于8小于等于15的整数；其中，在非金属蒸发源的两侧沿所述底板的长度方向分别设置有一排金属蒸发源，设置在非金属蒸发源一侧的一排金属蒸发源与设置在非金属蒸发源另一侧的金属蒸发源对称设置。本方案，使得通过镀膜设备沉积腔室在玻璃衬底表面形成的CIGS膜厚度均匀，性能良好，从而使得形成的包括CIGS膜的太阳能电池具有较高的发电效率，有效满足用电需求。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发源 底板 金属蒸发源 沉积腔室 镀膜设备 本实用新型 太阳能电池 衬底表面 对称设置 发电效率 分散布置 厚度均匀 用电需求 玻璃 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜设备沉积腔室，在所述沉积腔室的底板上设置有金属蒸发源和非金属蒸发源，其特征在于，在所述底板上沿第一预设方向设置的每排非金属蒸发源的个数为M个；并且，该M个非金属蒸发源沿第一预设方向分散布置在所述底板上；M为大于等于8小于等于15的整数；其中，在非金属蒸发源的两侧，沿第二预设方向分别设置有一排金属蒸发源，设置在非金属蒸发源一侧的一排金属蒸发源与设置在非金属蒸发源另一侧的金属蒸发源对称设置。
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