[实用新型]一种高反射镜表面疵病参数表征装置有效
| 申请号： | 201821809219.6 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN209086170U | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 高爱华;侯劲尧;刘卫国;闫丽荣;江坤 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/958;G01N21/47;G01N21/01;G01B11/00;G01B11/22 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种高反射镜表面疵病参数表征装置，该装置由积分球、积分球探测器、CCD成像组件、半导体激光器和陷光器组成，CCD成像组件由CCD相机、显微镜头和遮光筒组成，遮光筒内部进行黑化处理，积分球上设置有可移动的顶盖，待测样品夹设于样品座和积分球上顶盖相对的外壁之间，CCD成像组件设置于待测样品的正上方，激光器和陷光器对称设置于CCD相机的两侧，积分球上设置有探测器。本实用新型装置和方法克服现有技术存在的显微散射检测只能获取疵病的二维信息，而积分散射率测量检测耗时长、检测效率低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 积分球 本实用新型 表面疵病 参数表征 待测样品 高反射镜 遮光筒 散射 陷光 检测 半导体激光器 积分球探测器 对称设置 二维信息 黑化处理 显微镜头 组件设置 激光器 顶盖 可移动 率测量 上顶盖 样品座 探测器 夹设 外壁 显微 耗时 | ||
【主权项】：
1.一种高反射镜表面疵病参数表征装置，其特征在于：由积分球（6）、积分球探测器（5）、CCD成像组件、半导体激光器（1）和陷光器（11）组成，所述CCD成像组件由CCD相机（3）、显微镜头（4）和遮光筒（16）组成，遮光筒（16）内部进行黑化处理，积分球（6）上设置有可移动的顶盖（8），待测样品（7）夹设于样品座（13）和积分球（6）上顶盖（8）相对的外壁之间，CCD成像组件设置于待测样品（7）的正上方，激光器（1）和陷光器（11）对称设置于CCD相机的两侧，所述积分球（6）上设置有探测器（5）。
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