[实用新型]一种碳材料镀膜设备有效
| 申请号： | 201821811373.7 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN209010594U | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 苏杨;王奇 | 申请（专利权）人： | 南京中赢纳米新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24;C23C14/52 |
| 代理公司： | 江苏舜点律师事务所 32319 | 代理人： | 徐旭栋 |
| 地址： | 210048 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种碳材料镀膜设备，包括镀膜箱、贯通连接在镀膜箱上端的连接管和贯通连接在连接管另一端的真空箱，所述镀膜箱包括箱体，所述箱体的内顶壁上连接有磁控靶，所述磁控靶通过连接管与真空箱贯通连接，所述磁控靶的下端贯通连接有对准头，所述箱体的内侧壁上连接有挡板，且挡板的中心开设有圆形通孔，所述圆形通孔位于对准头的正下方，所述箱体的内底壁上连接有固定装置。本实用新型克服了现有技术的不足，设计合理，结构紧凑，解决了现有的碳材料固定不稳定同时镀膜不均匀的问题，通过一系列结构固定住碳材料，同时不断的转动碳材料，确保镀膜更加均匀，提高了镀膜效果，具有很强的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 碳材料 贯通连接 磁控靶 镀膜箱 连接管 本实用新型 挡板 镀膜设备 圆形通孔 真空箱 镀膜 对准 镀膜效果 固定装置 上端 不均匀 内侧壁 内底壁 内顶壁 下端 转动 | ||
【主权项】：
1.一种碳材料镀膜设备，包括镀膜箱、贯通连接在镀膜箱上端的连接管和贯通连接在连接管另一端的真空箱，其特征在于：所述镀膜箱包括箱体，所述箱体的内顶壁上连接有磁控靶，所述磁控靶通过连接管与真空箱贯通连接，所述磁控靶的下端贯通连接有对准头，所述箱体的内侧壁上连接有挡板，且挡板的中心开设有圆形通孔，所述圆形通孔位于对准头的正下方，所述箱体的内底壁上连接有固定装置；所述固定装置包括连接块，所述连接块通过多个支撑脚连接在箱体的内底壁上，所述连接块的上端连接有固定块，所述连接块的上端开设有条形凹槽，且条形凹槽内转动连接有螺杆，所述螺杆的一端穿过条形凹槽的侧壁延伸出连接块外并连接有旋钮，所述螺杆位于条形凹槽内的一段上螺纹套接有滑动块，所述滑动块滑动连接在连接块的上端，所述滑动块和固定块的侧壁上均转动连接有转动杆，两个转动杆相对的一侧均连接有顶板，位于右侧的所述转动杆的另一端连接有长杆，所述长杆穿过箱体的侧壁并连接有摇把。
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